半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴(yán)淋袖，涉及數(shù)百個制造工序，對生產(chǎn)環(huán)境，如溫度福信、濕度，潔凈度都有嚴(yán)格要求两猛。半導(dǎo)體器件蹲楷，尤其是高密度的集成電路，易受到各種污染的損害椭肝。半導(dǎo)體器件對污染的敏感度取決于較小的特征圖形的尺寸和晶片表面沉積層的薄度茬蒿。空氣中充滿著塵埃玩困，雖然細(xì)小到肉眼不可見附扭，但這些塵埃對于每個晶體管的體積就屬于較大顆粒，如若這些微粒黏附在制作半導(dǎo)體的晶圓上脉鼻，可能會影響其精密的導(dǎo)線布局叔寓，破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能妨迈，造成電性短路或斷路。因此要保證半導(dǎo)體生產(chǎn)的良品率穷窃，必須要保證其生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度呈枉。

（中科新松百級潔凈室內(nèi)）

日前，在位于浦東臨港的新松機器人制造基地內(nèi)埃碱，剛剛落成的百級潔凈室已經(jīng)投入到半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的相關(guān)測試工作中猖辫。該潔凈室按照半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境百級（Class5）潔凈等級搭建，配合專用儀器砚殿，可以直接在新松生產(chǎn)基地完成半導(dǎo)體智能化生產(chǎn)過程中所使用的運動部件的相關(guān)測試工作啃憎，極大地加速了中科新松相關(guān)產(chǎn)品的優(yōu)化迭代速度。

（中科新松百級潔凈室內(nèi)）

作為全球化半導(dǎo)體Semi協(xié)會的正式會員似炎，中科新松入會時間已經(jīng)累計六年荧飞。

迄今為止，中科新松自主研發(fā)和生產(chǎn)了多種適用于半導(dǎo)體線邊物流的核心機器人產(chǎn)品名党，包括ARV叹阔、OHS、OHT传睹、RGV耳幢、Stocker、AMR欧啤、Lift等痪僵，所有產(chǎn)品按照SEMI認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計，滿足SEMI S2倍挚、SEMI S8暮诫、SEMI S17中的ESD、EMC绪忙、CLASS 5等認(rèn)證要求参唆。 此外，依托于核心半導(dǎo)體線邊物流組件肘渔，針對不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝流程躯殷，中科新松構(gòu)建了眾多的線邊物流自動化系統(tǒng)（AMHS）。在方案設(shè)計實施上繁莲，中科新松充分發(fā)掘客戶現(xiàn)場的有限使用空間独府，實現(xiàn)地面、空中一體化解決方案拢胆，為客戶創(chuàng)造更大的價值婆沟。目前中科已經(jīng)與多家國際知名半導(dǎo)體企業(yè)達(dá)成合作并交付實施了數(shù)百臺智能化機器人設(shè)備，相關(guān)產(chǎn)品出口東南亞等多個國家猛计。

關(guān)于中科新松  

中科新松有限公司是新松機器人集團(tuán)（股票代碼：300024唠摹，股票名稱：機器人）在上海設(shè)立的國際總部苹粟，是新松集團(tuán)“2+N+M”戰(zhàn)略布局中兩大總部機構(gòu)之一，致力于打造一個國際化的跃闹、平臺化的、創(chuàng)新的機器人行業(yè)標(biāo)桿毛好。

公司業(yè)務(wù)包括多可^?協(xié)作機器人及新松^?智慧工廠望艺。

多可^?協(xié)作機器人聚焦于協(xié)作機器人系列化產(chǎn)品的自主研發(fā)和生產(chǎn)，構(gòu)建了基于DUCO COBOT協(xié)作機器人肌访、DUCO AMR智能移動機器人找默、DUCO Mind智能應(yīng)用控制器、DUCO Core操作系統(tǒng)和DUCO Cloud云平臺技術(shù)的產(chǎn)品服務(wù)體系吼驶。產(chǎn)品通過CE和SEMI認(rèn)證惩激，憑借智能、安全蟹演、穩(wěn)定等特點风钻，廣泛應(yīng)用于汽車、能源酒请，半導(dǎo)體缎选，3C，食品藥品陕牲，教育科研等多個行業(yè)否胜，產(chǎn)品出口東南亞、北美芒极、歐洲等數(shù)十個國家與地區(qū)忽愧，品牌影響力享譽全球。

新松^?智慧工廠户挟，運用新松豐富的機器人產(chǎn)品以及強大的機器人系統(tǒng)技術(shù)脑苫，為客戶提供集核心制造技術(shù)開發(fā)、工藝流程研究及系統(tǒng)規(guī)劃于一體的數(shù)字化工廠自動化系統(tǒng)解決方案的設(shè)計與實施中痴。

中科新松被工信部認(rèn)定為國家級“專精特新”小巨人企業(yè)肝慕、成為協(xié)作機器人細(xì)分領(lǐng)域的“隱形冠軍”，榮獲“高新技術(shù)企業(yè)”掐悄、上海市“專精特新”企業(yè)孟景，上海市企業(yè)技術(shù)中心、上海市專利工作試點優(yōu)秀單位帅刀，浦東新區(qū)企業(yè)研發(fā)機構(gòu)等稱號让腹，入選《上海市第一批智能制造解決方案供應(yīng)商推薦目錄》，獲得上海市科技進(jìn)步一等獎扣溺、上海市五一勞動獎狀等殊榮骇窍。

智慧協(xié)力瓜晤，世界向前。未來腹纳，中科新松將繼續(xù)堅持自主研發(fā)痢掠、技術(shù)自主可控，與更多客戶攜手嘲恍，共創(chuàng)美好的未來足画！

（中科新松協(xié)作機器人）

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