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晶圓守護(hù)者彼城!ABB機(jī)器人助力半導(dǎo)體精密“智”造

ABB機(jī)器人

半導(dǎo)體晶圓運(yùn)輸盒拆包自動(dòng)化

現(xiàn)代電子設(shè)備中至關(guān)重要的半導(dǎo)體恬叹,其制造過(guò)程精密復(fù)雜。如何減少半導(dǎo)體必要材料晶圓在機(jī)器或工廠間轉(zhuǎn)移時(shí)受到的污染和損耗成為一大難題纱皆。機(jī)器人技術(shù)的應(yīng)用能夠幫助減少晶圓碎片化風(fēng)險(xiǎn)湾趾,提高運(yùn)輸效率,一起來(lái)一睹為快派草!

由于其材料特性搀缠,硅晶圓非常脆弱易碎。晶圓轉(zhuǎn)移的拆箱和包裝過(guò)程通常需要人工24小時(shí)不間斷地工作近迁,才能趕上后續(xù)的生產(chǎn)步驟艺普。為了滿(mǎn)足對(duì)半導(dǎo)體晶片日益增長(zhǎng)的需求,穩(wěn)定質(zhì)量鉴竭,降低碎片化風(fēng)險(xiǎn)歧譬,提高生產(chǎn)線(xiàn)運(yùn)輸效率,半導(dǎo)體制造商易發(fā)精機(jī)選擇與ABB機(jī)器人合作搏存,利用自動(dòng)化技術(shù)最大限度地提高產(chǎn)能测扼。

解決方案

1、首先救咙,ABB IRB 4600機(jī)器人將晶圓運(yùn)輸盒移動(dòng)至氮?dú)馓畛湔救ㄅぃ缓笥膳鋫錈o(wú)塵超聲波切割機(jī)的IRB 1200以最佳切割路徑割開(kāi)包裝晶圓運(yùn)輸盒的鋁袋。

2馅酪、隨后某澡,IRB 4600將晶圓運(yùn)輸盒移動(dòng)到另一個(gè)站點(diǎn),移除鋁袋乳侮,并將廢棄的包裝丟棄份览。

3、最后诉德,另一臺(tái)IRB 1200為IRB 4600放置RFID晃纹,卸載晶圓運(yùn)輸盒。

高潔凈度

使用了符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的IRB 1200和IRB 4600柱洽,配備了超聲波切割器褂宙,可避免產(chǎn)生更多的灰塵顆粒。

穩(wěn)定可靠

ABB機(jī)器人的高精度和可靠性使工藝過(guò)程中的振動(dòng)值小于0.35G本谜,減少了硅晶圓轉(zhuǎn)移過(guò)程中的的污染和損耗初家。

高效輸送

實(shí)現(xiàn)了每小時(shí)30次晶圓運(yùn)輸盒包裝/拆包過(guò)程的目標(biāo),滿(mǎn)足增長(zhǎng)的生產(chǎn)需求乌助。

易發(fā)精機(jī)第一業(yè)務(wù)部門(mén)的團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人Royal Luo 表示溜在,

在引入自動(dòng)化技術(shù)時(shí),技術(shù)產(chǎn)品的多樣性是一個(gè)重大挑戰(zhàn),但ABB機(jī)器人總能滿(mǎn)足我們的需求掖肋。在將設(shè)備銷(xiāo)售到海外后仆葡,我們?nèi)匀豢梢垣@得ABB的技術(shù)支持,讓我們能安心與ABB機(jī)器人合作志笼。

電子產(chǎn)品制造極其復(fù)雜沿盅。電子元件密度高、內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜籽腕、部件微小精密的特點(diǎn)嗡呼,要求裝配過(guò)程具有極高的精度纸俭。而保證高精確性和重復(fù)定位精度的同時(shí)皇耗,整個(gè)解決方案還需要快速、高效终睦、緊湊和可靠碘云。

在電子制造中,如何讓所想即為所得否抛?如何讓電子制造更加簡(jiǎn)單拦腌、智能、高效言酪?ABB RobotStudio讓這一切成為可能岭限!

RobotStudio有著一流的虛擬控制器技術(shù),可以使用屏幕上的模擬(或數(shù)字孿生)來(lái)精確模擬機(jī)器人在真實(shí)環(huán)境中的運(yùn)動(dòng)败饵。這讓制造商能在對(duì)實(shí)際生產(chǎn)線(xiàn)做出任何更改之前酣器,先在虛擬環(huán)境中構(gòu)建、測(cè)試和改進(jìn)機(jī)器人部署熊过,加快了實(shí)際調(diào)試速度吝重,最大限度地減少了生產(chǎn)中斷,并且可以顯著提高生產(chǎn)效率胖真。

關(guān)于易發(fā)精機(jī)

易發(fā)精機(jī)(EFC)是一家領(lǐng)先的高科技工業(yè)加工設(shè)備系統(tǒng)集成商沦匿。其全自動(dòng)精密生產(chǎn)的設(shè)備主要用于光電子行業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)動(dòng)力電池行業(yè)振峻。公司以“以精湛工藝創(chuàng)造無(wú)限價(jià)值”為理念臼疫,通過(guò)對(duì)完美產(chǎn)品研發(fā)的不懈追求以及快速的服務(wù)、支持和響應(yīng)扣孟,為客戶(hù)提供最佳效率烫堤。

( ABB機(jī)器人)

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